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  • 檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "Kuei-Yi Lee".ecommittee (精準) and ckeyword.raw="濺鍍"


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    以反應式離子束濺鍍法沉積摻鋁氧化銅/氧化亞銅薄膜之特性探討
    • 電子工程系 /104/ 碩士
    • 研究生: 胡敏安 指導教授: 趙良君
    •   本研究以反應式離子束濺鍍法於SiO2及玻璃基板上以三種氬氧氣體比例在基板溫度300C下沉積氧化銅及摻鋁氧化銅薄膜,探討氣體流量及摻鋁濃度(0~10 at.%)對所沉積薄膜之影響。研究結果顯示當…
    • 點閱:268下載:0
    • 全文公開日期 2021/06/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    以離子束濺鍍法製備摻鉺氧化鋅薄膜特性分析
    • 電子工程系 /96/ 碩士
    • 研究生: 張仲文 指導教授: 趙良君
    • 本研究探討以離子束濺鍍法,沉積摻鉺氧化鋅薄膜(Erbium-doped ZnO, EZO)之特性。我們以層狀方式沉積EZO薄膜,藉退火使鉺與氧化鋅混合。實驗中,成功的以325 nm之He-Cd雷射,…
    • 點閱:207下載:7

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    利用蒙地卡羅法與粒子網格法分析整合式陽極層離子源離子束濺鍍模組特性研究
    • 光電工程研究所 /110/ 博士
    • 研究生: 陳敬修 指導教授: 趙良君
    • 本研究提出了一種整合式陽極層離子源離子束濺鍍模組(Integrated Anode Layer Ion Source Ion Beam Sputtering Module, IAIBS),並建立粒子…
    • 點閱:323下載:0
    • 全文公開日期 2025/01/10 (校內網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (校外網路)
    • 全文公開日期 本全文未授權公開 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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